产品描述
PS1H40-015U系列X向维压电纳米--台,设计用于生物/纳米技术的紧凑型操纵工具。
本系列具有纳米--分辨率的高速,可多轴,精纳米--系统。 提供大的多能,可以配置XY/XZ或XYZ运动。
紧凑的尺寸,非常易于集成到任何扫描器中。超低的噪声特和高谐振频率使其非常适合要求噪声水平低的高速能的计量应用。
压电平台内部使用无摩擦及空回的柔铰链导向机构,采用有限元--分析化柔铰链结构,柔导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚、高负载、无磨、维等特点,压电位移台内置精位移传感器进行全闭环的位置反馈,确保了位移台具有佳的运动控制精度,--精度、分辨率和稳定可以达到纳米量,--稳定时间仅为毫量。
压电纳米--台为无磁材质,使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。压电扫描台特点积小、结构紧凑、易于集成。
产品特
—高速直接驱动
—紧凑型超小积设计
—SGS闭环控制
—可堆叠XY/XZ/XYZ运动
选配能
—可定制转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—定制其他材质
应用域
—原子力显微镜、扫描探显微镜
—高速、高分辨率--
—扫描、筛选
—表面分析、计量学
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