产品描述
PS3L90-100UA系列为XYZ轴运动纳米位移台。Z轴设计为500微米大行程运动,方便样品移动,可选配内部位置传感器进行闭环,可进行重的位置测量。
压电位移台可提供SGS传感器反馈或无反馈(开环)。 对于需要紧凑的尺寸,高动态和亚纳米的--分辨率,但又不需要--的--精度和可重的应用,开环提供了种经济高的选择。 在通过外部反馈源(干涉,视觉系统,光电探测器等)控制压电位置的情况下,也可以使用开环设计。
产品特
—XY位移100μmx100μm
—多种负载安装孔位
—500微米Z轴大行程设计
—无磁材质
选配能
—可定制孔位及转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可定制其他材质
应用域
—原子力显微镜、扫描探显微镜
—测量、计量
—光学探、光学扫描、光束对准
—光通信技术
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